氮氣在常況下是一種無色無嗅的氣體，在標(biāo)準(zhǔn)情況下的氣體密度是1.25g·dm-3，工業(yè)氣體供應(yīng)商，熔點63K（ -209.8℃），工業(yè)氣體報價，沸點75K（-195.6℃），臨界溫度為126K，它是個難于液化的氣體，在水中的溶解度很小，在283K時，一體積水約可溶解0.02體積的N2。氮氣在極低溫下會液化成白色液體，進(jìn)一步降低溫度時，更會形成白色晶狀固體，通常市場上供應(yīng)的氮氣都盛于黑色氣體瓶中保存，不能燃燒，也不支持燃燒，不易溶于水。
氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，合肥氣體，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。
氣體監(jiān)測和分析的重要性
隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和極小的塵埃污染，也會給生產(chǎn)帶來嚴(yán)重的破壞性。
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